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      凈化車(chē)間潔凈度級(jí)別如何確定及計(jì)算分析

      華銳凈化 / 2020-07-27 06:53:15 / 閱讀次
      凈化車(chē)間潔凈度級(jí)別如何確定及計(jì)算分析凈化車(chē)間潔凈度級(jí)別如何確定及計(jì)算分析


      一、凈化車(chē)間的規(guī)格

      凈化車(chē)間的規(guī)格一般適用于美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B。這個(gè)規(guī)格對(duì)凈化間的環(huán)境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內(nèi)壓等都進(jìn)行了規(guī)格化規(guī)定。但是,伴隨著潔凈化程度的不斷提高,美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格進(jìn)行了改版,其內(nèi)容主要是以潔凈度進(jìn)行分類(lèi)。最新版已成為No209E,名稱(chēng)也進(jìn)行了變更。No.209E的級(jí)別表示是把0.5um以上的顆粒數(shù)為10x個(gè)/m3,把X表示成級(jí)別,同時(shí)加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B,表8表示的是美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209E。在日本,相應(yīng)的規(guī)格是JIS B9920。JIS9920的級(jí)別表示是把0.1um以上的顆粒數(shù)規(guī)定為10的x立方個(gè),用Y表示級(jí)別。表9、圖2表示了JIS B 9920的級(jí)別的主要內(nèi)容。

      凈化車(chē)間潔凈度

      表7  美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B

      凈化間級(jí)別

      粒子

      室內(nèi)壓力Pa

      mmH2O

      溫度

      濕度

      氣流

      換氣次數(shù)

      照度

      粒徑

      um

      累計(jì)粒子數(shù)

      范圍

      (℃)

      推薦值(℃)

      (℃)

      (%)

      最低

      %

      誤差

      %

      100


      1000


      10000


      100000

      0.5  


      0.5

      5

      0.5

      5

      0.5

      5

      100


      1000

      10

      10000

      65

      100000

      700

      +13

      (+1.3)

      以上

      19.4—

      25

      22.2



      ±2.8

      特別時(shí)為±1.4

      45

      30



      ±10

      特別時(shí)為±5


      層流方式

      0.45m/s

      ±0.1m/s

      非層流方式

      20次/h


      1080--1620



      表8  美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209E的潔凈度級(jí)別分類(lèi)

      級(jí)別上限值是各級(jí)別名。上限值用指定粒徑以上的濃度(單位堆積粒子數(shù))表示。*

      級(jí)別名稱(chēng)**

      級(jí)別上限值

      粒徑

      0.1um

      粒徑

      0.2um

      粒徑

      0.3um

      粒徑

       0.5um

      粒徑

      5um

      SI***

      English

      Unit

      (m3)

      (ft3)

      (m3)

      (ft3)

      (m3)

      (ft3)

      (m3)

      (ft3)

      (m3)

      (ft3)

      MI

      M1.5   

      M2

      M2.5

      M3

      M3.5

      M4

      M4.5

      M5

      M5.5

      M6

      M6.5

      M7


      1


      10


      100


      1000


      10000


      100000

      350

      1240

      3500

      12000 

      35000  

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      9.91

      35.0

      99.1  

      350

      991

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      75.7

      265

      757

      2650

      7570

      26500  

      75700

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      2.14

      7.50

      21.4

      75.0

      214

      750   

      2140

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      30.9

      106

      309

      1060

      3090

      10600  

      30900

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      0.875

      3.00   

      8.75

      30.0

      87.5

      300

      875

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      10.0

      35.3

      100

      353

      1000

      3530

      10000  35300 

      100000

      353000

      1000000

      3530000

      10000000

      0.283

      1.00

      2.83

      10.0

      28.3

      100

      283

      1000

      2380

      10000

      28300

      100000  

      283000

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      247

      618

      2470

      6180

      24700  

      61800

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      --

      7.00

      17.5

      70.0

      175

      700

      1750  

       *上表中表示的級(jí)別上限值僅僅是為了級(jí)別分類(lèi)而定義的,并不表示實(shí)際的粒徑分布值。

      **針對(duì)中間級(jí)別的濃度上限值,用如下的公式進(jìn)行計(jì)算。

        粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI單位里的級(jí)別名稱(chēng),D :粒徑(um)

      ***國(guó)際單位(Systeme International d’Unites的縮寫(xiě))


      圖1,209E的潔凈度級(jí)別(圖略)圖中的●標(biāo)記表示評(píng)價(jià)潔凈度級(jí)別用的對(duì)象粒子。

      ()內(nèi)數(shù)值是用English unit表示級(jí)別。

      圖2,JIS B 9920的潔凈度級(jí)別的上限濃度


      表9,JIS B 9920主要內(nèi)容         

      凈化間級(jí)別表


      表10,美國(guó)航空宇宙局規(guī)格主要內(nèi)容

      生物凈化間級(jí)別

      粒子

      生物粒子

      室內(nèi)

      壓力

      Pa

      mmH2O


      溫度℃ 

      濕度

      %

      氣流

      換氣次數(shù)


      照度

      Lx

      粒徑

      um

      累計(jì)

      粒子數(shù)

      個(gè)/ft

      (個(gè)/l)

      浮游量

      個(gè)/ft

      (個(gè)/l)

      沉降量


      100


      10000




      100000

      ≥0.5



      ≥0.5


      ≥5


      ≥0.5    


      ≥5

      100

      (3.5)


      10000

      (350)

      65(2.3)


      100000

      (3500)

      700(25)

      0.1

      (0.0035)


      0.5

      (0.0176)



      2.5

      (0.0884)

      1200

      (12900)


      6000

      (64000)



      30000

      (323000)



      +13

      (+1.3)

      以上





      40

      —   

      50



      層流方式

      0.45m/s

      ±0.1m/s

      非層流式

      ≥20次/h

      1080—

      1620


      二、不同用途所要求的潔凈度

      如前所述,凈化車(chē)間的級(jí)別一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4個(gè)級(jí)別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同,形成必要的級(jí)別是不一樣的。例如,在半導(dǎo)體制造工廠等里邊,根據(jù)作業(yè)內(nèi)容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的凈化間。而且,在制藥工廠里,根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序,需有從M3.5到M6.5(100,000)范圍廣泛的級(jí)別不等凈化間。因此說(shuō),各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間,其要求的潔凈度是不同的。

      就一般級(jí)別而言,表11可以作為參考。

      表11,各產(chǎn)業(yè)所要求的凈化車(chē)間級(jí)別一覽

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            領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)

            潔凈度標(biāo)準(zhǔn)(級(jí)別)

            內(nèi)容

            SI

            English unit

            半導(dǎo)體工業(yè)

            (IC、LSI等)

            掩模板對(duì)準(zhǔn)工藝

            M3.5

            100


            刻蝕工藝

            M3.5

            100

            腐蝕加工

            擴(kuò)散工藝

            M3.5

            100

            高純度擴(kuò)散

            蒸著工藝

            M3.5

            100

            高純度電鍍

            涂布工藝

            M3.5

            100

            感光劑涂布

            電子設(shè)備

            計(jì)算器制造

            M5.5

            10,000

            磁頭

            陰極射線(xiàn)管

            M5.5

            10,000,

            遮屏

            磁帶

            M5.5

            10,000

            防止雜音

            精密儀器

            陀螺、微型軸承

            M5.5

            10,000

            提高精度

            導(dǎo)彈部件、繼電器

            M5.5

            10,000

            防止誤動(dòng)作

            鐘表、小型計(jì)量?jī)x器

            M5.5

            10,000

            組立、封裝、修理

            光學(xué)、印刷

            照相機(jī)、印刷電路板

            M5.5

            10,000

            制作

            鏡頭、膠片

            M4.5

            1,000

            連接

            電子制版

            M5.5

            10,000

            制作、檢查

            化學(xué)藥品

            注射液充填

            M3.5

            100

            調(diào)和、充填

            無(wú)菌動(dòng)物養(yǎng)育

            M3.5

            100

            SPF

            化學(xué)藥品

            抗生物

            M5.5

            10,000

            充填、檢查

            一般醫(yī)療品

            M6.5

            100,000

            制造

            食品

            釀造、發(fā)酵

            x
            手機(jī)
            電話(huà)
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